Видимо проблема в Вашем
programm.exe, т.к., воспроизвести ошибку не смог.
Для проверки сделал конфиг:
Код:

;!@Install@!UTF-8!
RunProgram="waitall:test_waitall.bat /VERYSILENT /LOADINF=\"progr.ini\""
GUIMode="2"
;!@InstallEnd@!
Содержание файла
test_waitall.bat, который лежит в корне архива:
Код:

@Echo Off
Echo %*
Pause
Ни каких ошибок не обнаружил.