Проблема проста, видимо в описание deploy.chm закралась ошибка, все мы люди
исправь свой параметр:
[SystemFileProtection]
SFCDllCacheDir="%SYSTEMROOT%\%WINDIR%\System32\Dllcache"
на
[SystemFileProtection]
SFCDllCacheDir="%SYSTEMROOT%\System32\Dllcache"
иначе получается масло маслянное...
удачи
