Убрал слеш получилось
Код:

nsSCM::Install /NOUNLOAD "AHDDC2" "AHDDC2_Service.exe" 16 2 "$INSTDIR\AHDDC2_Service.exe" "" "" "" ""
nsSCM::Install /NOUNLOAD "DfSdkS" "mst Defrag SDK Service.exe" 16 2 "$INSTDIR\DfSdkS.exe" "" "" "" ""
Но все равно тоже самое, службы остановлены и не запускаются
Может есть какой то другой вариант или как?